- หน้าหลัก
- ข้อมูลผลิตภัณฑ์
- CYTOP™
- CYTOP™ การใช้งาน
- "Pellicle" เป็นฟิล์มบางบนโฟโตมาส์คเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการปนเปื้อนของอนุภาค
CYTOP™ - การใช้งาน
"Pellicle" เป็นฟิล์มบางบนโฟโตมาส์คเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการปนเปื้อนของอนุภาค
ภาพรวมการใช้งาน
"Pellicle" เป็นผลิตภัณฑ์ที่ป้องกันการลดลงของผลผลิตระหว่างกระบวนการรับแสงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ "Pe;;icle" เป็นวัสดุสำคัญในกระบวนการรับแสงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และเนื่องจากอยู่ในสภาพแวดล้อมที่ฉายแสงด้วยความยาวคลื่น ArF (193nm) และ KrF (248nm) เนื่องจาก CYTOP™ มีคุณสมบัติที่หายากในการส่งผ่านแสงดีพยูวี จึงถูกใช้เป็นสารใน "เพลลิเคิล"