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AFLAS® FFKMは、4フッ化エチレン（C2F4）とパーフルオロアルキルビニルエーテル（C2F3-ORf）を基本骨格とした共重合体で、完全フッ素化ゴムです。耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性、耐オゾン性などにおいて、部分フッ素化フッ素ゴム（FKM/FEPM）を超える特性を備え、高温・高圧環境下など、過酷な使用条件をクリアしています。
AFLAS® FFKMの概要・特長
耐熱性/耐薬品性
フッ素ゴムでは最高の耐熱性、耐薬品性を示します。
FKM、FEPMでは適用が難しい環境でも使用することができます。
低金属溶出
クリーンな環境下で製造され、金属含有量が極めて少ないフッ素ゴムです。
低金属溶出が要求される半導体製造プロセスでもご使用いただけます。
耐プラズマ性
FFKMはその分子構造より耐プラズマ性に優れます。
半導体製造プロセスの中でも高いプラズマ耐性が求められるCVD成膜プロセスや、エッチングプロセスでもご使用いただけます。
AFLAS® FFKMの用途
高機能シール材として、半導体製造プロセス、化学工業、石油掘削・ガス産業、等幅広い分野で活用されています。
AFLAS® FFKMの用途
AFLAS® FFKMの主な用途をご紹介します。
半導体製造装置向けシール材
AFLAS® FFKMは優れた耐プラズマ性、耐薬品性、耐熱性を有し、低金属溶出な非常にクリーンなフッ素ゴムです。ドライ/ウエット/熱処理など様々な半導体製造工程で使用することができます
化学/石油産業向けシール材
優れた耐熱性と耐薬品性から、化学プラントや石油切削装置類のシール材に使用することができます。
テクニカルデータシート
AFLAS FFKMの各種物性は下記リンクからダウンロードください
AFLAS® FFKM PM-1100
AFLAS® FFKM PM-1200
AFLAS® FFKM PM-3000
AFLAS® FFKM PM-3500
AFLAS® FFKM PM-5000
AFLAS® FFKM PM-5500
AFLAS® FFKM CP-4010
AFLAS® FFKM CP-7000
グレード一覧
FFKM
※PMグレード：生ゴム
CPグレード：プリコンパウンド
AFLAS® 製品ラインナップ
