レジストタイプについて教えて欲しい。
AL-polymer™はネガ型溶剤現像タイプです。
製膜方法ついて教えて欲しい。
スピンコート法でのウエハーへの製膜を推奨しています。
製膜可能な膜厚について教えてほしい。
品番により、1.5~3.5μm、3.5~10μmの膜厚となります。
吸水性について教えてほしい。
吸水性は低く、0.3% (@85℃/85%RH)です。