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「紫外線耐久性」「耐薬品性」等の特性を活かしたフッ素製品が使われています。

Fluon® ETFE

Fluon® ETFEは「耐熱性」、「耐薬品性」等の特性を活かした半導体設備部品に使われています。

ETFEは代表的なフッ素樹脂であるPTFE、PFA、FEPに匹敵する耐薬品性、電気的性質を保持しつつ、準フッ素樹脂であるECTFE、PVdFに対しては改良された機械的特性と極めて容易な成型加工性を兼ね備えることで一歩進んだ、フッ素樹脂の中では丁度中間的でバランスのとれたフッ素樹脂です。

Fluon® PTFE

Fluon® PTFEは「耐熱性」、「耐薬品性」等の特性を活かした半導体設備部品に使われています。

フッ素樹脂の需要の 60 ~ 70% を占めるのが、四フッ化エチレン樹脂 ( PTFE )です。 PTFEは、60年の長い歴史にもかかわらず、広い使用温度範囲、耐薬品性、電気絶縁性、低摩擦性、非粘着性、耐候性、難燃性等の優れた特性により、新しい用途が年々開発されています。

Fluon® PFA

Fluon® PFAは「耐熱性」、「耐薬品性」等の特性を活かした半導体設備部品に使われています。

Fluon® PFAは、四フッ化エチレンとパーフルオロアルコキシエチレンとの共重合体です。PTFEと同等の特性を備えているうえ、熱可塑性樹脂として溶融成形に適した特性も併せ持ち、「射出」、「押出」、「ブロー」など様々な加工法に対応しています。

サイトップ™

「撥水撥油性」「耐薬品性」「透明性」等の特性を有するため「半導体設備部品」用途で使用・検討されております。

サイトップ™はアモルファス(非晶質)構造のため、極めて高い透明性を実現します。専用のフッ素系溶媒に溶解するため薄膜コーティングが可能です。また「透明性」「低屈折率性」「電気絶縁性」「撥水・撥油性」「耐薬品性」などの特性を同時に有します。

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