光掩膜板用防尘膜“pellicle ”

光掩膜板用防尘膜“pellicle ”

用途简介

“pellicle ”是防止半导体制造流程的曝光工序中出现成品率降低的构件。“pellicle ”是半导体制造中曝光工序所必需的构件,需要在曝光波长 ArF(193nm)、KrF(248nm)的照射环境下使用。CYTOP®具有穿透深紫外光的稀有特性,被用作“pellicle”的材料。