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深紫外ＬＥＤ用封止材
用途概要
エポキシ樹脂やシリコン樹脂では耐久性不足となる「深紫外ＬＥＤ用封止材」としてサイトップ®の「透明性」と「耐久性」が注目されています。サイトップ®の用途の１つとしてフォトマスク用防塵フィルム「ペリクル」があります。この「ペリクル」は半導体製造における露光プロセスで必須の部材であり、露光波長ＡｒＦ（193nm）、ＫｒＦ（248nm）が照射される環境下で使用されるため、ＵＶ－Ｃ（200-280nm）ＬＥＤ用封止材としてサイトップ®が検討されています。
